X 射线3D显微镜（显微 CT）是目前发展最热门、成长最快的 CT 成像技术门类之一，已广泛地应用于微纳制造技术、新材料以及电子科学等领域。该显微镜是采用传统 CT 技术与光学显微技术相结合，而发展形成的一种新型的三维透视显微成像系统。20 世纪 90 年代末商业化的 X 射线三维显微成像系统的问世，极大地拓宽了该显微成像技术的应用领域，并随着 X 射线源、探测器及计算机技术的不断进步发展，高分辨率 X射线三维成像技术在近十几年来发展非常迅速，其空间分辨率已达到微米至纳米量级。